自動三坐標測量儀三坐標的一種，CNC式三坐標測量儀除了具有馬達驅動式的功能之外，還可自動依照計算機所預先設定的程序執行測量，甚至有些廠商出品的三坐標測量儀，也提供了自動裝拆工件。CNC式三坐標測量儀除提供尺寸測量 ( 點到點的測量 ) 外，也可作曲面的輪廓測量 ( 點到點的測量及掃瞄測量 )。